手動(dòng)高低溫探針臺(tái)
型號(hào)：HMP-800SC 可測(cè)8’’晶圓
型號(hào)：HMP-1200SC 可測(cè)12’’晶圓
此款手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)針對(duì)于新一代半導(dǎo)體裝置設(shè)計(jì)，非常低的噪音和低的漏電流。在這個(gè)系統(tǒng)中，屏蔽的樣品腔包含探針和樣品臺(tái)全部都在EMI屏蔽環(huán)境中。此系統(tǒng)支持超低信號(hào)測(cè)試，1/f噪音測(cè)試，S參量測(cè)試，和高速I-V測(cè)試在控溫變溫環(huán)境中從-60℃到300℃（或者特殊環(huán)境到400℃）
此探針臺(tái)系統(tǒng)可選支持高電流和高電壓功率測(cè)試。
HMP-610SC 6’’晶圓可選。
應(yīng)用：
溫度范圍：室溫到300℃或-60℃到300℃
超低信號(hào)I-V測(cè)量（fA級(jí)）
各種C-V測(cè)量（準(zhǔn)靜態(tài)C-V, HF-CV，RF-CV）[sub pF級(jí)]
1/f噪音評(píng)估
RTN（自由電子噪音）評(píng)估
高頻噪音評(píng)估（到800MHz）
RF測(cè)量（到67GHz）/S 參數(shù)測(cè)量
超高速I-V測(cè)量
擴(kuò)展應(yīng)用：
支持探卡（支持多點(diǎn)位晶圓可靠性測(cè)試WLR）
光電子中光接收/發(fā)散特性評(píng)估應(yīng)用（如：LED，LD，VCSEL，PD）
高功率元器件測(cè)量（200A脈沖，+/-3kV三軸,+/-10kV同軸）
晶圓的可靠性測(cè)試（如：EM，TDDB，HCI，NBTI，BT）
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