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    包郵 關(guān)注:1487

    JP系列鍍膜機適用于企業(yè)批量化生產(chǎn)高致密度高結合力薄膜

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-鍍膜設備-磁控濺射機

    產(chǎn)品品牌

    北京北儀

    規格型號:

    JP系列鍍膜機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    1.00
    交易保障 擔保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:北京北儀

    型號:JP系列鍍膜機

    所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-磁控濺射機

    JP系列鍍膜機適用范圍:
    適用于企業(yè)批量化生產(chǎn)高致密度高結合力薄膜。
    JP系列鍍膜機技術(shù)特點(diǎn):
    配備DCRF磁控濺射源,側面濺射,可濺射金屬和介質(zhì)材料;濺射靶可方便清潔和更換;工件架鼠籠式多邊型結構或公自轉結構,裝夾量大,適應性強。


    主要技術(shù)性能參數:

    型號Model
    參數Parameter
    JP-700
    JP-900
    濺射室尺寸∕mm
    Φ700×860
    Φ900×1200
    濺射方向
    側面濺射
    濺射室類(lèi)型
    立式前開(kāi)門(mén)方式
    極限壓力∕Pa
    5×10-4
    抽氣時(shí)間∕min
    從1×105Pa至2×10-3Pa≤20
    濺射工作壓力∕Pa
    10-10-1
    真空系統
    油擴散泵系統 氣動(dòng)閥門(mén)
    濺射靶尺寸∕mm
    80×740
    120×1050
    濺射靶數量
    1個(gè)或2個(gè)
    靶電源功率∕kWS
    1套DC10
    1套DC25
    工作旋轉∕r•min-1
    3-12
    工件盤(pán)直徑∕mm
    -
    -
    烘烤溫度∕
    室溫至300 可調
    工藝氣體控制方式
    一套質(zhì)量流量控制器,一套自動(dòng)壓強儀
    冷卻水流量∕L•min-1
    20
    25
    水壓∕kPa
    2.5×105
    進(jìn)水溫度∕℃
    ≤25
    壓縮空氣∕kPa
    (5-8)×105
    用電功率∕kW
    25
    60
    占地面積∕mm
    寬×深×高
    2000×2500×2100
    2500×3000×2300


       北京北儀創(chuàng )新真空技術(shù)有限責任公司(原北京儀器廠(chǎng))創(chuàng )建于1954年,總部位于中央商務(wù)區(CBD)的中心位置。生產(chǎn)基地位于大興工業(yè)開(kāi)發(fā)區,占地面積31064平方米,建筑面積45504平方米。2003年通過(guò)ISO-2000質(zhì)量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應用三大類(lèi)產(chǎn)品,從低真空到超高真空30多個(gè)系列160多個(gè)品種。產(chǎn)品廣泛地應用于航天航空、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環(huán)保及新能源等行業(yè)。經(jīng)過(guò)50多年對真空技術(shù)的探索,通過(guò)與全國多所大專(zhuān)院校、研究院所進(jìn)行的多次合作開(kāi)發(fā),以及公司研發(fā)人員不斷的創(chuàng )新與研發(fā),北儀創(chuàng )新公司始終站在中國真空行業(yè)的前沿。
        在真空測量技術(shù)、真空獲得技術(shù)、光學(xué)多層全自動(dòng)鍍膜技術(shù)、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(shù)(DC、MC、RF濺射技術(shù))以及PECVD技術(shù)等方面處于國內領(lǐng)先,并有多項科研成果獲得國家專(zhuān)利。近年來(lái),為多個(gè)院校、研究院所開(kāi)發(fā)制造多臺用于研究薄膜太陽(yáng)能電池的實(shí)驗室設備。在擁有成熟的真空技術(shù)的基礎上,2006年北儀創(chuàng )新公司研制成功了國內首條自行設計制造的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn),其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術(shù),用于生產(chǎn)大型玻璃光電模板一次完成多片數十平方米的雙節非晶硅薄膜的沉積,在相對低的設備投資下取得較高的大面積模板的產(chǎn)量,產(chǎn)品的性能指標達到國際同等水平,設備銷(xiāo)往廣東、福建、浙江等地區,改變了以往我國非晶硅薄膜電池生產(chǎn)線(xiàn)依靠進(jìn)口的現狀。

    北儀創(chuàng )新公司一貫秉承并將繼續堅持“誠信 精益”的企業(yè)精神,不斷汲取客戶(hù)的建議及業(yè)界的先進(jìn)技術(shù),以“顧客先導 持續改進(jìn)”的價(jià)值觀(guān)在合作中實(shí)現共贏(yíng)。

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    4001027270

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