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    包郵 關(guān)注:2194

    SFQ\DYX\ECD濕化學(xué)工藝設備

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國

    數       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
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    SFQ系列濕法清洗設備 

    SFQ/SFQZ系列濕法設備廣泛應用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導體材料加工、太陽(yáng)能光伏等領(lǐng)域,用于各種半導體基片及類(lèi)似材料制造過(guò)程中濕化學(xué)處理工藝,有手動(dòng)、半自動(dòng)及全自動(dòng)三種配置。

    六大專(zhuān)有技術(shù)

    濕法清洗設備系統集成技術(shù)

    /液自動(dòng)傳輸及控制技術(shù)

    材料與化學(xué)工程防護技術(shù)

    溫度傳遞及精確控制技術(shù)

    晶片自動(dòng)傳輸及自動(dòng)控制技術(shù)

    溶液流場(chǎng)均勻性控制技術(shù)

    主要技術(shù)特點(diǎn):

    系統結構:設計緊湊、潔凈、防腐、安全、多種式樣機架可供選擇

    控制方式:采用高性能PLC或工控機實(shí)現集中控制,結合單元功能控制簡(jiǎn)化操作

    槽體配置:材料:NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不銹鋼等多種材料
       
       功能:恒溫控制(加熱
    /制冷)、循環(huán)、過(guò)濾、自動(dòng)補液、抖動(dòng)、旋轉、超聲/兆聲、溢流、快排、鼓泡、干燥等

    定制設計:根據用戶(hù)要求提供工藝配置及技術(shù)支持

    ECD系列:


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    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

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