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    包郵 關注:3632

    CMP拋光系統

    規格型號:

    IB400

    發貨期限:

    4個月天

    庫       存:

    1

    產       地:

    德國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:

    型號:IB400

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-CMP磨拋機

    詳細描述:

    1.加工樣品尺寸4英寸及以下尺寸樣品

    2.可磨拋樣品數量設備具有1個工位,最大可以加工4英寸樣品.
    3.可加工樣品種類Si,SiC, GaAs, InP,CZT, MCT等多種半導體材料
    4.整機防腐蝕,適用CMP應用設備主機及所有零部件耐腐蝕,適用CMP應用
    5.設備工作時間,磨拋盤轉速,樣品固定系統驅動轉速及擺幅等參數采用精確數控,所有參數具有數據存儲及記憶功能。所有控制系統部件上置于磨拋工作區域,以避免磨拋工作過程中磨拋廢料滲漏腐蝕操控系統。

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