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    華林科納單片式清洗裝置

    產品品牌

    華林科納

    庫       存:

    50

    產       地:

    中國-江蘇省

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:華林科納

    型號:

    所屬系列:半導體清洗設備-標準清洗-單片自動清洗機

     TK 裝 置的 優勢 (例)

    1) 大幅提高成品率

    ?微粒去除性能可對應25納米級裝置。

    40 個/W (particle size 0.06um)

    ?2 流體濺射具有很高的塵埃除去性能

    ?蝕刻的面內均一性良好:2 %以下(氧化膜在希HF處理的情況)

    ?特にエピ成長前の洗浄に高影響(メタル完全除去、ゴミ極?。?/p>

    2)  価格 優勢

    ?MTK的價格是大日本、TEL等企業的同樣裝置價格的一半。

    3 )運 營 成本

    ?藥液循環使用

    ?純水消費量:1 Liter/min (one chamber)

    3)  設置 面積 小

    ?2~3 m 2 (2 chamber) (參考 :水槽式: 13m2 )

    ?1.5~2 m 2 (1 chamber)

    4)  臭氧 水 清洗

    ? 卓越的塵埃、有機物、金屬除去性能( 臭氧濃度:最大30ppm)

    ? 使用臭氧水、可省去硫酸、鹽酸、雙氧水

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