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    包郵 關注:1381

    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長

    應用于半導體行業:

    半導體加工設備-爐類設備-退火爐

    產品品牌

    Centrotherm

    庫       存:

    1000

    產       地:

    德國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    1000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:Centrotherm

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-爐類設備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產線專為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設備的后植入燒結而設計開發。Activator 150 可用于多種類型爐體, 如研發爐和批量生產爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無金屬加熱裝置的獨特設計允許處理溫度高達 1850 °C 同時縮短了工藝循環時間。由于占據空間小、購置成本低,所以 Activator 150 可實現生產具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達 1850°C

    批量規模高達 50硅片(150mm)

    加熱率最高達 150 K/min

    通過SiH4可實現硅“過壓

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    提問:
     

    加溫速度是多快???降溫裝置是什么?有現貨嗎?

    hjool  2017-07-24

    應用于半導體行業的相關同類產品:

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優惠

    微信公眾號

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