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    包郵 關注:2294

    RCA清洗機

    應用于半導體行業:

    半導體清洗設備-標準清洗-RCA清洗機

    發貨期限:

    30天

    庫       存:

    30

    產       地:

    中國-江蘇省

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體清洗設備-標準清洗-RCA清洗機

     1.主體構造特點

    ?●規范:本設備的設計、選購、制造、檢驗和測試均按照相關國家、半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質量管理體系進行規范和保證,但合同中或技術文件中另有規定的除外。外購配件執行相應的國家標準、行業標準、規范及企業標準;
    ?●設備包括:設備主體、電氣控制部分、化學工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統配套的接口等。
    ?●主體:設備為半敞開式,主體使用進口WPP15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產瓷白PP板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中;
    ?●骨 架:鋼骨架+PP德國勞施領板組合而成,防止外殼銹蝕。
    ?●臺面:高度為850mm;
    ?●儲物區:位于工作臺面左側,約280mm寬,儲物區地板有漏液孔和底部支撐;
    ?●安全門:前側下開透明安全門,腳踏控制;
    ?●工藝槽:模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險;
    ?●管路系統:位于設備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明;藥液管路采用PFA管,純水管路采用白色NPP噴淋管,化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放;
    ?●電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區,電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件;
    ?●排 風:后部排風和下沉式設計,風量可調節,對操作員有安全保護;
    ?●送風:設備頂部有FFU百級凈化送風裝置,設備沿前側板鑲嵌入墻體,保證后上部送風;
    ?●照明:工作區頂部配有雙光日光燈照明;
    ?●水汽槍:機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側,方便操作員手工清洗槽體或工件;
    ?●機臺支腳:有滑輪裝置及固定裝置,并且有高低調整及鎖定功能。
    ?●安全保障:完善的報警和保護設計,排風壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖,直觀的操作界面,清晰的信息提示,保障了生產、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處。

    2.安全保護
    ?●設備采用耐腐蝕導線并采用氟套管進行保護,防腐防水;
    ?●設有防漏電斷路保護裝置;
    ?●電控部分正壓空體保護,防水防腐;
    ?●配有漏電流斷路保護裝置以及過溫過載保護裝置。
    ?●設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統;
    ?●EMO緊急開關位于機臺上方明顯處。
    ?●蜂鳴器聲鳴提示工作完成,三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警;
    ?●機臺底部設有防漏盤及漏液感知;
    ?液位異常感知/安全液位保護;
    ?配有加熱保護,防干燒;


    更多的半導體RCA濕法腐蝕清洗機設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(www.hlkncse.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。

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