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    包郵 關注:1377

    NANO 150F

    庫       存:

    1

    產       地:

    全國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    客服電話:4001027270

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體二手設備-二手芯片制造后段設備

      機械規格

    項目

    敘述

    單位

    規格

    工作範圍

     

    mm

    160×160

    主軸

    軸承

     

    空氣靜壓軸承

    最高容許轉速

    rpm

    60000

    最大輸出馬力

    kw

    1.2

    X軸

    驅動裝置

     

    AC 伺服馬達

    最大工作行程

    mm

    160

    最大移動行程

    mm

    250

    切割速度設定

    mm/s

    0.1~300

    Y軸

    驅動裝置

     

    微步進馬達

    最大工作行程

    mm

    160

    最小分割設定

    mm

    0.0002

    單一分割精度

    mm

    0.003/5

    全行程精度

    mm

    0.005/150

    Z軸

    驅動裝置

     

    微步進馬達

    最大工作行程

    mm

    30

    最小分割設定

    mm

    0.0002

    重複精度

    mm

    0.001

    θ軸

    驅動裝置

     

    DD 伺服馬達

    最大旋轉角度

    degree

    約360度

    視覺系統

    顯示器

     

    彩色15”LCD 

    作業系統

     

    XPe

    語言

     

    中文 或 英文

    安裝環境

    機械外型 (寬×深×高)

    mm

    600×800×1500

    機械重量

    kg

    600

    電力需求

     

    AC220V,單相,50/60Hz

     

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