1、 設(shè)備簡介:TEX-218G擴膜機是將切割后的Wafer連同膜向X-Y方向均一擴伸的設(shè)備。
有助于半導體芯片制造的省時省力。
2、設(shè)備技術(shù)指標
工作尺寸
DTFnth="8" day="1" islunardate="False" isrocdate="False" w:st="on">2-8-1及DTF2-6-1 ※1(6、8寸兼容)
擴張環(huán)
GR-8:內(nèi)環(huán)227(內(nèi)徑)×237(外徑)×7(高度)
外環(huán)237(內(nèi)徑)×247(外徑)×7(高度)※1
GR-5:內(nèi)環(huán)170(內(nèi)徑)×178(外徑)×6(高度)
外環(huán)178(內(nèi)徑)×186(外徑)×6(高度)※1
擴張幅度
15~value="50" hasspace="False" negative="False" numbertype="1" tcsc="0" w:st="on">50mm擴張功能及調(diào)整功能
擴張臺溫度
常溫~80℃可調(diào)
聯(lián)動安全裝置
膜提示燈不點亮時無法上升擴張臺
膜提示燈無論擴張臺在什么位置皆可點亮
尺寸
400(W)×690(D)×350(H)/mm
重量
value="35" hasspace="False" negative="False" numbertype="1" tcsc="0" w:st="on">35KG
3、 動力
氣源
0.3~0.4MPa(φ6快速接頭)
電源
AC100Vvalue="3" hasspace="False" negative="False" numbertype="1" tcsc="0" w:st="on">3A50/60Hz(插頭)
1、功能:
在半導體集成電路芯片制作中的切割制程后,將切割/分割后的芯片背面所貼的膜用擴張環(huán)固定,利用工作臺的上升,使膜向X-Y方向均勻擴張,從而帶動芯片擴張至任意間隔,大大方便了芯片切割/分割制程后的處理。
2、原理:
晶圓擴膜機是用于切割制程之后,將膜均勻拉伸,從而使切割后的芯片分離,并均勻拉開一定距離的設(shè)備。采用伺服電機的擴膜方式,擴膜高度及速度可在配置的觸摸屏中參數(shù)化進行設(shè)置。
3、用途:
從晶圓上切割出半導體集成電路芯片的切割制程之后,芯片和芯片之間的縫隙很小,會導致芯片和芯片之間碰撞產(chǎn)生崩邊,造成浪費。
擴膜機可以簡單快速地將切割后的芯片向X-Y方向擴張,芯片之間的間距均勻地增大到所需的尺寸,將芯片分離,避免芯片與芯片碰撞損傷從而得到完好的集成電路芯片。帶加熱且溫度可調(diào)的工作臺設(shè)計,可令擴膜效果更好,且可大大提高擴膜高度,以滿足不同的客戶需求。擴膜高度可調(diào)。護膜速度可調(diào)。工作臺溫度可調(diào)。
設(shè)備適用于IC、Diode、Transistor、Glass、LED、QFN、PCB等產(chǎn)業(yè),適用于半導體集成電路芯片制作中切割制程后的擴張或拉伸工藝。